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ELECTRONIQUE & MICRO-ELECTRONIQUE

Exemple 1 : Matrice CCD

Intérêts de la mesure :

Mesure sans contact du plan focal d'une matrice CCD à travers la fenêtre,
Mesure de planéité du plan focal,
Caractérisation des pixels individuels, (forme, taille, espacement).

Cliquez sur les images pour une meilleure définition

1 - Topographie fausses couleurs d'une matrice CCD. Altitude en fausses couleurs

2 - Image 1 après filtrage passe-bas démontrant les défauts de planéité du plan focal

Paramètres de la Mesure

Système de mesure :
Profilomètre MICROMESURE 2

Contrôleur :
CHR 150 L

Crayon optique :
CL1 MG 210

Échantillon :
Matrice CCD

Matériau :
Silicium

Dimensions :
1.1 mm x 1.1 mm

Pas de mesure :
10 µm x 20 µm


1 - Topographie fausses couleurs d'une matrice CCD. Altitude en fausses couleurs	2 - Image 1 après filtrage passe-bas démontrant les défauts de planéité du plan focal