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STIL SA
Mesure sur Electronique et Micro-electronique

MECANIQUE & MICRO-MECANIQUE

 Mesure sur Optique
Exemple 1 Mecanique Micro-mecanique
 Exemple 2 : MEMS Micro-Electro-Mechanical-System
flèche non active

    Intérêts de la mesure :

  • Mesure sans contact d'objets issus des nanotechnologies
  • Contrôle de la géométrie d'objets issus des nanotechnologies
  • Maîtrise des formes et des profils d'objets issus des nanotechnologies
Cliquez sur les images pour une meilleure définition
Topographie en fausses couleurs d'un MEMS Micro-Electro-Mechanical-System
1 - Topographie en fausses couleurs d'un MEMS
2 - Mesure d'altitude en fausses couleurs d'un MEMS

Paramètres de la Mesure
Système de mesure :
Profilomètre MICROMESURE 2
Contrôleur :
CHR 150 L
Crayon optique :
CL1 MG 210
Échantillon :
MEMS
Matériau :
Silicium
Dimensions :
1.1 mm x 1.1 mm
Pas de mesure :
1 µm x 1 µm