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Le MPLS-S permet de réaliser des mesures 3D de façon autonome sans avoir recours à des moyens de translations externes.
Deux modèles sont disponibles :
| MICROVIEW-F | WAVY-F | |
| Tête Optique Petit Champ | Tête Optique Grand Champ | |
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Taille du champ (X x Y) : Pitch (X x Y) : Diamètre du Spot : Profondeur de champ de Z : Résolution de Z : Précision de Z : Durée d'acquisition : |
1.8 mm x 1.8 mm 10 µm x 10 µm 4 µm 500 µm 0.125 µm 0.5 µm 130 ms |
44.75 mm x 45.8 mm 250 µm x 200 µm 50 µm 2 mm 0.5 µm 2.5 µm 130 ms |